ဖြတ်. လှိမ့်ကြသောကြေးနီသတ္တုပါး - "တိုက်စားသောကာကွယ်စောင့်ရှောက်ရေးဒိုင်းများ" နှင့်စွမ်းဆောင်ရည်ကိုဟန်ချက်ညီအောင်ပြုလုပ်ခြင်း

Passivation သည်လှိမ့်ထုတ်လုပ်မှုအတွက်အဓိကဖြစ်စဉ်တစ်ခုဖြစ်သည်ကြေးနီသတ္တုပါး။ ၎င်းသည်မျက်နှာပြင်ပေါ်ရှိ "မော်လီကျူး - အဆင့်ဒိုင်းလွှား" အဖြစ်ဆောင်ရွက်သည်။ ဤဆောင်းပါးသည် passivation ယန္တရားများ, စွမ်းဆောင်ရည်အပေးအယူများနှင့်အင်ဂျင်နီယာအလေ့အကျင့်များနောက်ကွယ်တွင်သိပ္ပံပညာကိုဖော်ပြထားသည်။ အသုံးပြုခြင်းCInCEဥပမာတစ်ခုအနေဖြင့်အောင်မြင်မှုတစ်ခုအနေဖြင့်,

1 ။ passivation: ကြေးနီသတ္တုပါးအတွက် "မော်လီကျူး - အဆင့်ဒိုင်းလွှား"

1.1 passivation အလွှာပုံစံများ
ဓာတုသို့မဟုတ်လျှပ်စစ်လျှပ်စစ်ပစ္စည်းကုသမှုများမှတဆင့်ကျစ်လစ်သိပ်သည်းသောအောက်ဆိုဒ်အလွှာ 10-50nm အထူပုံစံများကြေးနီသတ္တုပါး။ အဓိကအားဖြင့်Cu₂o, Cuo နှင့် Organic Compades များရေးစပ်ထားသည့်အနေဖြင့်ဤအလွှာသည် -

• ရုပ်ပိုင်းဆိုင်ရာအတားအဆီး:အောက်စီဂျင်ပျံ့နှံ့မှု 2 ×10⁻¹⁴cm² / s (5 × 10 ×10⁻⁸cm² / s မှ) မှရှင်းလင်းသောကြေးနီ) အထိလျော့နည်းစေသည်။
• လျှပ်စစ်ဓာတ်အားသန့်စင် -Corrosion လက်ရှိသိပ်သည်းဆ 10 /a / cm²မှ0.1μa / cm²မှကျဆင်းသွားသည်။
• ဓာတုဗေဒစွမ်းအင်:72MJ / M²မှ 35MJ / M²မှ 35 မီလီမီတာ,

1.2 passivation ၏အဓိကအကျိုးကျေးဇူးငါးခု

2 ။ Passivation အလွှာ၏ "နှစ်ဖက်သန်ဓား" နှင့်မည်သို့ဟန်ချက်ညီရန်

2.1 အန္တရာယ်များကိုအကဲဖြတ်

• ကူးယူခြင်းအတွက်အနည်းငယ်လျှော့ချခြင်းPassivation အလွှာသည်အရေပြားအတိမ်အနက်ကို0.66μmမှ0.72μmမှ0.72μmသို့တိုးပွားစေသည်။
• စိန်ခေါ်မှုများကိုဂဟေဆော်ခြင်း:အောက်ပိုင်းစွမ်းအင်သည် Soldding စိုစွတ်စေသော 15 ဒီဂရီမှ 25 ဒီဂရီအထိထောင့်ကိုတိုးစေသည်။ Active Solder Pastes (RA အမျိုးအစား) ကိုအသုံးပြုခြင်းသည်ဤအကျိုးသက်ရောက်မှုကိုထေမိနိုင်သည်။
• Adhesion ပြ issues နာများ:ဗဓေလသစ်ခံနှောင်ကြိုးခွန်အားသည် 10-15% ကျဆင်းသွားနိုင်သည်။ ၎င်းကိုအကြမ်းအားဖြင့်နှင့် passivation လုပ်ငန်းစဉ်များကိုပေါင်းစပ်ခြင်းဖြင့်လျော့ပါးစေနိုင်သည်။

2.2CInCEဟန်ချက်ညီညီချဉ်းကပ်မှု

gradient ကို passivation နည်းပညာ:

• Base Layer:(111) ဦး စားပေးထားသောရှေ့ပြေးနှင့်အတူ 5nm cu₂o၏လျှပ်စစ်တိုးတက်မှုနှုန်း။
• အလယ်အလတ်အလွှာ:2-3nm Benzotriazole (BTA) Self- တပ်ဆင်ထားသောရုပ်ရှင်။
• အပြင်ဘက်အလွှာ:Resin Adhesion ကိုမြှင့်တင်ရန်အတွက် couper couper (aptes) ။

optimized စွမ်းဆောင်ရည်ရလဒ်များ:

3. CInCEPassivation Technology - ကာကွယ်စောင့်ရှောက်ရေးစံနှုန်းများကိုပြန်လည်သတ်မှတ်ခြင်း

3.1 လေးဆင့်အကာအကွယ်စနစ်

1. Ultra - ပါးလွှာသောအောက်ဆိုဒ်ထိန်းချုပ်မှု:Pulse Antodization သည်± 2nm အတွင်းအထူအမျိုးမျိုးကိုရရှိခဲ့သည်။
2. အော်ဂဲနစ် - အော်ဂဲနစ်ပေါင်းစပ်ထားသောအလွှာများ -BTA နှင့် Silane တို့သည် 0.003 မီလီမီတာ / နှစ် 0.003 မီလီမီတာကိုလျှော့ချရန်အတူတကွလုပ်ဆောင်ကြသည်။
3. Surface activation ကုသမှု:ပလာစမာသန့်ရှင်းရေး (ar / o₂ဓာတ်ငွေ့ရောနှောခြင်း) သည်စိုစွတ်စေသောထောင့်မှ 18 ဒီဂရီအထိပြန်လည်ပြုပြင်သည်။
4. အချိန်နှင့်တပြေးညီစောင့်ကြည့်လေ့လာခြင်း -Ellipsometry သည် passivation layer အထူကို± 0.5nm အတွင်းတွင်သေချာစေသည်။

3.2 အစွန်းရောက်ပတ်ဝန်းကျင်အတည်ပြုချက်

• မြင့်မားသောစိုထိုင်းဆနှင့်အပူ:နာရီ 1000 တွင် 85 ဒီဂရီစင်တီဂရိတ် RH RH တွင် 85 ° C / 85% RH RH သည် 3% အောက်ရှိမျက်နှာပြင်ကိုခုခံနိုင်စွမ်းပြောင်းလဲခြင်း။
• အပူထိတ်လန့်ခြင်း:100 ဒီဂရီစင်တီဂရိတ်မှသံသရာ 200 အုတ်တံတိုင်းမှ + 125 ဒီဂရီစင်တီဂရိတ်တွင်အက်ကြောင်းမရှိပါ (SEM မှအတည်ပြုသည်) တွင်အက်ကြောင်းမရှိပါ။
• ဓာတုခုခံ -10% HCL အငွေ့အား 5 မိနစ်မှမိနစ် 30 အထိတိုးလာသည်။

3.3 applications များအနှံ့လိုက်ဖက်ခြင်း

• 5G မီလီမီမီမီလီမီတာ Wave Antennas:28GHz ထည့်သွင်းဆုံးရှုံးမှုသည် 0.17dB / CM (ပြိုင်ဘက်များ 0.21DB / CM တို့နှင့်နှိုင်းယှဉ်လျှင်) မှလျှော့ချသည်။
• မော်တော်ယာဉ်အီလက်ထရောနစ်ပစ္စည်း:ISO 16750-4 ဆားမှုန်ရေမွှားစမ်းသပ်မှုများကိုတိုးချဲ့သံသရာဖြင့် 100 အထိဖြတ်သန်းသွားသည်။
• IC အလွှာများ:ABF ဗဓေလသစ်နှင့်အတူ Adhesion အစွမ်းသတ္တိသည် 1.8n / CM (စက်မှုလုပ်ငန်းပျှမ်းမျှ - 1.2n / cm) သို့ရောက်ရှိသည်။

4 ။ Passivation နည်းပညာ၏အနာဂတ်

4.1 အက်တမ်အလွှာအစစ်ခံ (ald) နည်းပညာ
al₂o₃ / tio₂အပေါ် အခြေခံ. nanolaminate passivation ရုပ်ရှင်များဖွံ့ဖြိုးတိုးတက်ရေး:

• အထူ:<5nm, ခုခံနိုင်စွမ်းနှင့်အတူ≤1% ။
• CAF (convertive anodic ဝိုင်ယာကြိုး) ခုခံမှု -5x တိုးတက်မှု။

4.2 မိမိကိုယ်ကိုအနာပျောက်စေသော passivation layers
microcapsapsule corrosion colrilosion inhibitors (benzimidazole derivatives):

• Self- အနာရောဂါငြိမ်းစရာအကျိုးဖြစ်ထွန်းမှု:ခြစ်ရာပြီးနောက် 24 နာရီအတွင်း 90% ကျော်။
• ဝန်ဆောင်မှုဘဝ:အနှစ် 20 အထိတိုးချဲ့ (စံ 10-15 နှစ်နှင့်နှိုင်းယှဉ်ပါ) ။

နိဂုံး:
Passivation ကုသမှုသည်ဖြည်းဖြည်းချင်းကာကွယ်ခြင်းနှင့်လုပ်ဆောင်နိုင်စွမ်းတို့အကြားသန့်စင်သောလက်ကျန်ငွေရရှိစေသည်ကြေးနီသတ္တုပါး။ ဆန်းသစ်တီထွင်မှုမှတဆင့်,CInCEPassivation ၏အားနည်းချက်များကိုလျှော့ချပြီးထုတ်ကုန်ယုံကြည်စိတ်ချရမှုကိုတိုးမြှင့်စေသော "မျက်မြင်မရသောသံချပ်ကာ" အဖြစ်ပြောင်းလဲခြင်း။ အီလက်ထရွန်းနစ်လုပ်ငန်းသည်ပိုမိုမြင့်မားသောသိပ်သည်းဆသိပ်သည်းဆနှင့်ယုံကြည်စိတ်ချရမှုဆီသို့ရွေ့လျားသည်နှင့်အမျှတိကျသောနှင့်ထိန်းချုပ်ထားသည့် passivation သည်ကြေးနီသတ္တုပါးထုတ်လုပ်ခြင်း၏အုတ်မြစ်ဖြစ်လာသည်။